Lithografisches Verfahren für Pitchverdopplung
EP2577395
Art B1
28. August 2019
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2577395
- Aktenzeichen
- EP11721525
- Anmeldetag
- 25. Mai 2011
- Veröffentlichung
- 28. August 2019
- Erteilung
- 28. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00H01L21/033H01L21/768H01L21/311B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Kanzlei
Marks & Clerk France
Arcueil, Frankreich
Der Standort in Arcueil bei Paris firmierte als Marks & Clerk France, 2005 gegründet, Schwerpunkt europäische Patente in Elektronik, Informatik und Telekommunikation. 2022 von der Vidon-Gruppe übernommen und als Atout[PI] Laplace weitergeführt, einer der größten französischen IP-Beratungsverbünde.
3.434
Patente gesamt
8
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Guérin, Michel
NoneArcueil