Lithografisches Verfahren für Pitchverdopplung

EP2577395 Art B1 28. August 2019

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2577395
Aktenzeichen
EP11721525
Anmeldetag
25. Mai 2011
Veröffentlichung
28. August 2019
Erteilung
28. August 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00H01L21/033H01L21/768H01L21/311B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
Kanzlei
Marks & Clerk France Arcueil, Frankreich

Der Standort in Arcueil bei Paris firmierte als Marks & Clerk France, 2005 gegründet, Schwerpunkt europäische Patente in Elektronik, Informatik und Telekommunikation. 2022 von der Vidon-Gruppe übernommen und als Atout[PI] Laplace weitergeführt, einer der größten französischen IP-Beratungsverbünde.

3.434
Patente gesamt
8
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1
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