Mehrschichtiger Spiegel
EP2577398
Art A1
10. April 2013
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2577398
- Aktenzeichen
- EP11713756
- Anmeldetag
- 6. April 2011
- Veröffentlichung
- 10. April 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20C23C14/14G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Siem, Max Yoe Shé
Amsterdam, Niederlande
151
Patente gesamt
19
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte