Vorrichtung zur Bearbeitung durch Ionenbombardements sowie Verfahren zur Reinigung der Oberfläche eines Basismaterials Mithilfe Dieser Bearbeitungsvorrichtung

EP2578722 Art B1 17. Dezember 2014

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2578722
Aktenzeichen: EP11789394
Anmeldetag: 16. Mai 2011
Veröffentlichung: 17. Dezember 2014
Erteilung: 17. Dezember 2014
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/02C23C14/32H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von