Verfahren zum selektiven Abscheiden von Edelmetallen auf Metall- bzw. Metallnitridsubstraten

EP2578723 Art B1 6. Mai 2015

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2578723
Aktenzeichen
EP12187296
Anmeldetag
4. Oktober 2012
Veröffentlichung
6. Mai 2015
Erteilung
6. Mai 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/04C23C16/18C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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