Echelle-Diffraktionsgitter und sein Herstellungsverfahren, Excimer-Laser und sein Herstellungsverfahren
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2579072
- Aktenzeichen
- EP12006853
- Anmeldetag
- 2. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2014
- Erteilung
- 16. Juli 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/18H01S3/08H01S3/225
Abstract
Echelle diffraction grating (1) of the reflective type for which the ratio (B/A) between the diffraction efficiency (B) of a diffraction order at one order lower than the blazed order and the diffraction efficiency (A) of the blazed order is between 0.025 and 0.400. Its manufacturing method includes the steps of obtaining the wavelength (») of the ultraviolet light source (of an excimer laser), the blazed order, the pitch (7), the material constituting the grating, and determining the blaze angle (5) so that the above (B/A) ratio be between 0.025 and 0.400.
Anmelder
- Firma
- CANON KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
19.221 Patente in unserer Datenbank
-
WESER & Kollegen Patentanwälte PartmbB
WESER & Kollegen Patentanwälte PartmbB · München
-
WESER & Kollegen
WESER & Kollegen · München