Inspektionsgerät, lithografisches Gerät und Verfahren zur Herstellung von Bauelementen
EP2579100
Art A3
6. Dezember 2017
Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2579100
- Aktenzeichen
- EP12182890
- Anmeldetag
- 4. September 2012
- Veröffentlichung
- 6. Dezember 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01B11/02G01N21/47G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Holding N.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Ketting, Alfred
Eindhoven, Niederlande
40
Patente gesamt
8
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Siem, Max Yoe Shé
NoneAmsterdam