Optische Partikelsysteme und Anordnungen und optische Partikelkomponenten für solche Systeme und Anordnungen

EP2579268 Art A1 10. April 2013

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Applied Materials Israel 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2579268
Aktenzeichen: EP12190691
Anmeldetag: 7. September 2004
Veröffentlichung: 10. April 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G21K5/10G01N23/00H01J37/28H01J37/09H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Applied Materials Israel
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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