Optische Partikelsysteme und Anordnungen und optische Partikelkomponenten für solche Systeme und Anordnungen

EP2579271 Art B8 22. Mai 2019

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH, Applied Materials Israel, Ltd., Applied Materials Israel, Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2579271
Aktenzeichen: EP12190694
Anmeldetag: 7. September 2004
Veröffentlichung: 22. Mai 2019
Erteilung: 22. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G21K5/10G01N23/00H01J37/28H01J37/09H01J37/317H01J37/04H01J37/14H01J37/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss Microscopy GmbH
Applied Materials Israel, Ltd.
Applied Materials Israel
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

564 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von