Hydrosilanderivat, Verfahren zu Seiner Herstellung und Verfahren zur Herstellung einer Siliciumhaltigen Dünnschicht
EP2581377
Art B1
29. Juli 2015
Anmelder: Tosoh Corporation, Sagami Chemical Research Institute 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2581377
- Aktenzeichen
- EP11792310
- Anmeldetag
- 30. Mai 2011
- Veröffentlichung
- 29. Juli 2015
- Erteilung
- 29. Juli 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F7/02C07F7/10C23C16/42H01L21/316H01L21/318H01L21/02C23C16/34C23C16/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tosoh Corporation
Sagami Chemical Research Institute - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tosoh Corporation
Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.
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