Mikroskopvorrichtung und Beobachtungsverfahren

EP2581778 Art B1 29. April 2020

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2581778
Aktenzeichen
EP11792583
Anmeldetag
13. Juni 2011
Veröffentlichung
29. April 2020
Erteilung
29. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/64G02B21/16G02B21/36// G02B21/06G02B27/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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