Endpunktbestimmung für Kapillargestützte Flusssteuerung

EP2583301 Art B1 5. Dezember 2018

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2583301
Aktenzeichen
EP11796569
Anmeldetag
18. Juni 2011
Veröffentlichung
5. Dezember 2018
Erteilung
5. Dezember 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317H01L21/66H01L21/02H01L21/67G05D7/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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