Endpunktbestimmung für Kapillargestützte Flusssteuerung
EP2583301
Art B1
5. Dezember 2018
Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2583301
- Aktenzeichen
- EP11796569
- Anmeldetag
- 18. Juni 2011
- Veröffentlichung
- 5. Dezember 2018
- Erteilung
- 5. Dezember 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01L21/66H01L21/02H01L21/67G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
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Madrid, Spanien
2.380
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34
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Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar