Verfahren zur Herstellung eines MIM Kondensators mit Ru-haltiger Sauerstoffdiffusionsbarriere
EP2584588
Art B1
4. Oktober 2017
Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2584588
- Aktenzeichen
- EP11186243
- Anmeldetag
- 21. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 4. Oktober 2017
- Erteilung
- 4. Oktober 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/02C23C16/04C23C16/40H01L21/285H01L21/768H01L49/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
IMEC - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
Hertoghe, Kris Angèle Louisa
Winksele, Belgien
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5
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