Optisches Beleuchtungssystem, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung

EP2584589 Art B1 8. Mai 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2584589
Aktenzeichen: EP11795814
Anmeldetag: 16. Juni 2011
Veröffentlichung: 8. Mai 2019
Erteilung: 8. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20// G02B27/28H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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