Verfahren zur Bildung eines Siliciumoxynitridfilms

EP2584593 Art B8 25. September 2019

Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials USA Corp. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2584593
Aktenzeichen: EP11795255
Anmeldetag: 10. August 2011
Veröffentlichung: 25. September 2019
Erteilung: 25. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/318C23C18/12C23C18/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials USA Corp.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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