Verfahren zur Strahlbildung und Gerät zu dessen Verwendung

EP2584651 Art B1 1. Juli 2015

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2584651
Aktenzeichen
EP12188608
Anmeldetag
16. Oktober 2012
Veröffentlichung
1. Juli 2015
Erteilung
1. Juli 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01Q3/42H01Q3/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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