Anpassbares Ausgabesystem mit Intelligenter Steuerung

EP2586053 Art A2 1. Mai 2013

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2586053
Aktenzeichen
EP11804086
Anmeldetag
27. Juni 2011
Veröffentlichung
1. Mai 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/302
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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