Master-Oszillator-Leistungsverstärker-Laser mit Vorimpuls für Euv-Lichtquellen

EP2586107 Art A1 1. Mai 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2586107
Aktenzeichen: EP11798565
Anmeldetag: 24. Mai 2011
Veröffentlichung: 1. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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