Hermetisch verschlossene Einkapselungsstruktur einer Vorrichtung und einer elektronischen Komponente
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2586741
- Aktenzeichen
- EP12189454
- Anmeldetag
- 22. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 23. März 2016
- Erteilung
- 23. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00H01L23/26
Abstract
The structure (100) has a hermetically sealed cavity (110) for encapsulating a device (106), a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) transistor produced on a substrate (102), and a getter material layer (108) covering the CMOS transistor. The device is selected from one of a microelectromechanical system (MEMS) device, a nanoelectromechanical system (NEMS device), a micro-opto electromechanical system (MOEMS) device, and a nano-opto electromechanical system (NOEMS) device, and an infrared sensor. A dielectric layer (111) is placed between the transistor and the getter material layer. An independent claim is also included for a method for encapsulating the device and the electronic component in the cavity.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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