Bogenverdampfungsquelle mit Hoher Filmbildungsgeschwindigkeit, Filmbildungsvorrichtung und Herstellungsverfahren für einen Beschichtungsfilm mit der Bogenverdampfungsquelle

EP2586888 Art B1 23. November 2016

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2586888
Aktenzeichen: EP11797792
Anmeldetag: 15. Juni 2011
Veröffentlichung: 23. November 2016
Erteilung: 23. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/35C23C14/32H01J37/34H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von