Zusammensetzung zur Reinigung eines Siliciumcarbidsubstrats und Verfahren zur Reinigung eines Siliciumcarbidsubstrats

EP2587526 Art A1 1. Mai 2013

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2587526
Aktenzeichen: EP11798149
Anmeldetag: 21. Juni 2011
Veröffentlichung: 1. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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