Modifizierung von Siliciumschichten aus Silan-Haltigen Formulierungen

EP2588643 Art B1 7. November 2018

Anmelder: Evonik Degussa GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2588643
Aktenzeichen: EP11729082
Anmeldetag: 20. Juni 2011
Veröffentlichung: 7. November 2018
Erteilung: 7. November 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/12H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Evonik Degussa GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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