Verfahren zur Synthese eines Graphenblatts auf einem Platinsilizid, durch Dieses Verfahren Erhaltene Strukturen und Ihre Verwendungen
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2589679
- Aktenzeichen
- EP12190710
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2012
- Veröffentlichung
- 29. August 2018
- Erteilung
- 29. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B82Y30/00B82Y40/00C23C10/52C23C16/24C23C28/04H01L21/02H01L29/06C23C16/56C23C16/02C23C28/00C01B32/184
Abstract
Synthesizing a graphene sheet (15) on a platinum silicide, comprises forming a stack by depositing a layer (C1) (12) of diffusion barrier material on a substrate (11), depositing a layer (C2) of a carbonaceous material on the layer (C1), depositing a layer (C3) (14) of platinum on the layer (C2) and optionally depositing a layer (C4) of a material on the layer (C3), and thermally treating the stack, where: the carbonaceous material comprises silicon; and a ratio of number of platinum atoms present in layer (C3) and number of silicon atoms present in layer (C2) or (C4) is >= 2. Synthesizing a graphene sheet (15) on a platinum silicide of formula (Pt xSi), comprises forming a stack by depositing a layer (C1) (12) of diffusion barrier material on a substrate (11), depositing a layer (C2) of a carbonaceous material on the layer (C1), depositing a layer (C3) (14) of platinum on the layer (C2) and optionally depositing a layer (C4) of a material having a structure of formula (Si aC bH c) on the layer (C3), and thermally treating the stack, where: the carbonaceous material comprises silicon; and a ratio of number of platinum atoms present in the layer (C3) and number of silicon atoms present in the layer (C2) or layer (C4) is >= 2. x : >= 2; a : positive number; and b : zero or positive numbers. An independent claim is included for a structure comprising the substrate, the layer (C1) of diffusion barrier material, the platinum silicide, where silicide is present in the form of layers or pads spaced from each other, and the graphene sheet.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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