Weiches Polierkissen zum Polieren eines Halbleitersubstrats

EP2590782 Art B1 21. Februar 2018

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation, Nexplanar Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2590782
Aktenzeichen
EP11700490
Anmeldetag
11. Januar 2011
Veröffentlichung
21. Februar 2018
Erteilung
21. Februar 2018
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24D7/12B24D13/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Cabot Microelectronics Corporation
Nexplanar Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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