Verfahren und Anordnung zur Abscheidung einer Metallbeschichtung
Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2591142
- Aktenzeichen
- EP11738182
- Anmeldetag
- 6. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 22. Juli 2015
- Erteilung
- 22. Juli 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C18/16C23C18/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.
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Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
545 Patente in unserer Datenbank