Vorrichtung für Geladene Teilchenstrahlen und Probenherstellungsverfahren

EP2592643 Art B1 2. September 2020

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation, Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2592643
Aktenzeichen: EP11803566
Anmeldetag: 5. Juli 2011
Veröffentlichung: 2. September 2020
Erteilung: 2. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/30H01J37/305H01J37/317G01N1/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Tech Corporation
Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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