System und Verfahren zur Druckregelung bei einer Prozesskammer
EP2593580
Art B1
6. Mai 2020
Anmelder: SPTS Technologies Limited, Primaxx, Inc. 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2593580
- Aktenzeichen
- EP10854822
- Anmeldetag
- 14. Juli 2010
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2020
- Erteilung
- 6. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- SPTS Technologies Limited
Primaxx, Inc. - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
Fachgebiete
Vertreten von
Lynch, Lyndsey Ann
Cheltenham, Großbritannien
36
Patente gesamt
17
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Wynne-Jones IP Limited
Wynne-Jones IP Limited · Gloucester