Elektrode zur Erzeugung eines Plasmas, Plasmakammer mit Dieser Elektrode und Verfahren zur in Situ Analyse oder in Situ Bearbeitung einer Schicht oder des Plasmas

EP2593959 Art B1 24. September 2014

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2593959
Aktenzeichen: EP11781429
Anmeldetag: 7. Juli 2011
Veröffentlichung: 24. September 2014
Erteilung: 24. September 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32C23C16/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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