Wässriger Reiniger zur Entfernung von Resten nach einer Ätzung
EP2593964
Art A2
22. Mai 2013
Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2593964
- Aktenzeichen
- EP11807569
- Anmeldetag
- 15. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 22. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
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Madrid, Spanien
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Greaves Brewster LLP · Cheddar