Auswertung einer Ätzmaskenfolie

EP2594993 Art B1 22. Juli 2015

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2594993
Aktenzeichen
EP12192912
Anmeldetag
16. November 2012
Veröffentlichung
22. Juli 2015
Erteilung
22. Juli 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/00G03F1/26G03F1/80G06F19/00G06F17/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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