Ausrichtung eines Lichtquellenfokus

EP2595702 Art A1 29. Mai 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV, Cymer, LLC, Cymer, Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2595702
Aktenzeichen: EP11810187
Anmeldetag: 14. Juli 2011
Veröffentlichung: 29. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: A61N5/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Cymer, LLC
Cymer, Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Medizintechnik & Gesundheit

Vertreten von