Verfahren zur Automatischen Bestimmung eines Optimal Parametrisierten Scatterometrie-Modells
EP2596334
Art A2
29. Mai 2013
Anmelder: KLA-Tencor Corporation, Tokyo Electron Limited 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2596334
- Aktenzeichen
- EP11810230
- Anmeldetag
- 18. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 29. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/47G01N21/27
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-Tencor Corporation
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Manley, Nicholas Michael
NoneLiverpool
-
Bartle, Robin Jonathan
NoneLiverpool