Ionenbeschussvorrichtung und Verfahren zum Reinigen der Oberfläche von Ausgangsmaterial damit

EP2597172 Art B1 7. März 2018

Anmelder: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2597172
Aktenzeichen: EP12191192
Anmeldetag: 5. November 2012
Veröffentlichung: 7. März 2018
Erteilung: 7. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/02C23C14/56H01J37/32C23C14/32C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von