Verfahren zur Herstellung einer Speicherstruktur mit Freischwebegate

EP2597674 Art B1 29. März 2017

Anmelder: IMEC VZW, IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2597674
Aktenzeichen: EP13156047
Anmeldetag: 8. November 2010
Veröffentlichung: 29. März 2017
Erteilung: 29. März 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L27/115// H01L21/28H01L29/423H01L29/49

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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