Lesemethodologie zur Mehrkanalerfassung eines Räumlich Verteilten Signals
EP2598852
Art A2
5. Juni 2013
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2598852
- Aktenzeichen
- EP11813301
- Anmeldetag
- 31. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J3/02G06F19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Lukaszyk, Szymon
Kancelaria Patentowa LukaszykNone