Verbindung, Strahlungsempfindliche Zusammensetzung, und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP2599814 Art B1 14. Februar 2018

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2599814
Aktenzeichen: EP11812037
Anmeldetag: 25. Juli 2011
Veröffentlichung: 14. Februar 2018
Erteilung: 14. Februar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C08G65/38G03F7/004G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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