Transmissions-Rasterelektronenmikroskop und Achseneinstellungsverfahren dafür
EP2600379
Art B1
8. April 2015
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2600379
- Aktenzeichen
- EP11812257
- Anmeldetag
- 11. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 8. April 2015
- Erteilung
- 8. April 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/28H01J37/04H01J37/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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Vertreten von
Moore, Graeme Patrick
London, Großbritannien
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