Substrat mit einer Reflektierenden Schicht für Euv-Lithographie sowie Reflektierender Maskenrohling für Euv-Lithographie

EP2600388 Art B1 8. Oktober 2014

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2600388
Aktenzeichen: EP11812493
Anmeldetag: 26. Juli 2011
Veröffentlichung: 8. Oktober 2014
Erteilung: 8. Oktober 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F1/00G03F1/24G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von