Dynamische Wellenfrontsteuerung eines Lasersystems mit Frequenzumwandlung
EP2601714
Art A2
12. Juni 2013
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2601714
- Aktenzeichen
- EP11816798
- Anmeldetag
- 29. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 12. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/10H01S3/13G02B13/18G01J1/42G01J9/00G02B27/09G02B27/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Keane, Paul Fachtna
Dublin, Irland
492
Patente gesamt
30
Fachgebiete
16
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Lukaszyk, Szymon
Kancelaria Patentowa LukaszykNone