Plasmabehandlungsvorrichtung
EP2602813
Art A1
12. Juni 2013
Anmelder: EMD Corporation, Osaka University 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2602813
- Aktenzeichen
- EP11814649
- Anmeldetag
- 2. August 2011
- Veröffentlichung
- 12. Juni 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205C23C16/509H01L21/3065H05H1/46H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EMD Corporation
Osaka University - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Osaka University
Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.
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