Mikromechanischer Resonator und Verfahren zu Seiner Herstellung
EP2603976
Art B1
23. Juli 2014
Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT 🇫🇮
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2603976
- Aktenzeichen
- EP11816145
- Anmeldetag
- 11. August 2011
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2014
- Erteilung
- 23. Juli 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H03H9/02H03H9/24H03H3/013// B81B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Teknologian tutkimuskeskus VTT
- Land
- 🇫🇮 Finnland
🇫🇮
VTT Technical Research Centre of Finland
VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.
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Vertreten von
Tiilikainen, Jarkko Tapio
Helsinki, Finnland
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