Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Geräts

EP2605068 Art A3 2. Oktober 2013

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Engineering Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2605068
Aktenzeichen: EP13153431
Anmeldetag: 9. Juni 2005
Veröffentlichung: 2. Oktober 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Engineering Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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