Silizium-Durchkontaktierungspunkt (TSV) einer Struktur zur Freisetzung von Stress, und entsprechendes Herstellungsverfahren
EP2608253
Art B1
13. Juli 2016
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2608253
- Aktenzeichen
- EP12197423
- Anmeldetag
- 17. Dezember 2012
- Veröffentlichung
- 13. Juli 2016
- Erteilung
- 13. Juli 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768H01L23/48
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Ilgart, Jean-Christophe
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