Fenstereinheit, Fenstervorrichtung, Lasergerät und System zur Erzeugung von Extremem Uv-Licht
EP2609459
Art A1
3. Juli 2013
Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2609459
- Aktenzeichen
- EP11746325
- Anmeldetag
- 5. Juli 2011
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/00H01S3/034H01S3/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Gigaphoton Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Gigaphoton
Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
539 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hards, Andrew
München, Deutschland
144
Patente gesamt
25
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte