Verfahren zur Formung eines Musters und Entwickler zur Verwendung in Diesem Verfahren

EP2609468 Art A1 3. Juli 2013

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2609468
Aktenzeichen: EP11820079
Anmeldetag: 26. August 2011
Veröffentlichung: 3. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/32G03F7/038G03F7/039G03F7/38H01L21/027G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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