Verfahren zum Polieren von Siliciumnitrid und polykristallinem Silicium

EP2610031 Art B1 23. März 2016

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2610031
Aktenzeichen: EP11819793
Anmeldetag: 10. August 2011
Veröffentlichung: 23. März 2016
Erteilung: 23. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/00C09K3/14H01L21/3105C09G1/02// C09C1/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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