Probenhalter für eine Vorrichtung für Geladene Teilchen

EP2610890 Art A1 3. Juli 2013

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2610890
Aktenzeichen: EP11819828
Anmeldetag: 16. August 2011
Veröffentlichung: 3. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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