Vorrichtung für Geladene Teilchenstrahlen und Probenbeobachtungsverfahren

EP2610891 Art B1 30. Mai 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2610891
Aktenzeichen: EP11819755
Anmeldetag: 2. August 2011
Veröffentlichung: 30. Mai 2018
Erteilung: 30. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/26H01J37/28H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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