Radikalquelle und Epitaktische Molekularstrahlvorrichtung

EP2610895 Art B1 18. November 2015

Anmelder: National University Corporation Nagoya University, NU Eco Engineering Co., Ltd., KATAGIRI Engineering Co., Ltd., Katagiri Engineering Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2610895
Aktenzeichen: EP11819589
Anmeldetag: 24. August 2011
Veröffentlichung: 18. November 2015
Erteilung: 18. November 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/203C23C14/24C30B23/08H05H1/24C30B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagoya University
NU Eco Engineering Co., Ltd.
KATAGIRI Engineering Co., Ltd.
Katagiri Engineering Co., Ltd
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National University Corporation Nagoya University

Japanische staatliche Universität mit umfangreicher Forschung in Naturwissenschaften, Technik und Medizin, unter anderem bekannt für Arbeiten zu LED-Technologie. Trägerin zahlreicher Patente aus Universitätsforschung in Japan.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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