Verfahren zur Herstellung P-Dotierter Siliciumschichten

EP2612348 Art B1 29. November 2017

Anmelder: Evonik Degussa GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2612348
Aktenzeichen: EP11757199
Anmeldetag: 19. August 2011
Veröffentlichung: 29. November 2017
Erteilung: 29. November 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/228H01L21/02C07F9/50H01L31/18C23C18/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Evonik Degussa GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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