Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Verbindungen oder Zwischenprodukten davon aus einem Festen Material sowie Verwendung Solcher Verbindungen und Zwischenprodukte
Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2612349
- Aktenzeichen
- EP11822413
- Anmeldetag
- 28. August 2011
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/265B01J8/02B01J8/04C01B35/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
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Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar