Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Verbindungen oder Zwischenprodukten davon aus einem Festen Material sowie Verwendung Solcher Verbindungen und Zwischenprodukte
EP2612349
Art A2
10. Juli 2013
Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2612349
- Aktenzeichen
- EP11822413
- Anmeldetag
- 28. August 2011
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/265B01J8/02B01J8/04C01B35/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
ABG Patentes, S.L
Madrid, Spanien
2.380
Patente gesamt
34
Fachgebiete
37
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar